表面和體積電阻率測試儀（高阻）參照標準：

(1)參照標準：GB/T 22042-2008《服裝 防靜電性能 表面電阻率試驗方法》；EN 1149-1-1995 《 靜電性能 第1部分表面電阻檢驗方法和要求》；GB/T 1410-2006《固體絕緣材料體積電阻率和表面電阻率試驗方法》（與國際標準IEC93-1980等效）；FZ/T 64013-2008 《靜電植絨毛絨》；

SJ/10694-2006《電子產品制造與應用系統(tǒng)防靜電檢測通用規(guī)范》6.1及ASTM D257《絕緣材料的直流電阻或電導試驗方法》要求制作。GB/T 2439-2001《硫化橡膠或熱塑性橡膠 導電性能和耗散性能電阻率的測定》；GB/T 10581-2006 《絕緣材料在高溫下電阻和電阻率的試驗方法》 ；GB/T 1692-2008 《硫化橡膠絕緣電阻率的測定》；GB/T 12703.4-2010 《紡織品 靜電性能的評定 第４部分：電阻率》 GB/T 10064-2006《測定固體絕緣材料絕緣電阻的試驗方法》。

表面和體積電阻率測試儀（高阻）適用范圍：

適用于測量粉末、粉體、顆粒物、氣體、電子元器件、介質材料、電線電纜、防靜電產品、如防靜電鞋、防靜電塑料橡膠制品、計算機房防靜電活動地板等電阻值等絕緣性能的檢驗和電子電器產品的絕緣電阻測量。

功能介紹：

配不同的測量電極(夾具)可以測量不同材料 (固體、粉體或液體)的體積電阻率和表面電阻率. 具有高電阻，微電流測量，中文或英文兩種語言本.

主要特點

BEST-310炭素電阻率測試儀

1. 描述：

四端測試法測量碳素材料，石墨等塊狀棒狀及粉末材料常溫下導電性能。恒流，自動電流檔， 4.3吋液晶顯示，顯示：電流、電壓、溫度、電阻率，電導率，電阻等數(shù)據(jù)，選配：PC軟件獲得測試數(shù)據(jù)之圖譜和報表。根據(jù)產品形狀不同選購測試治具.

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二.適用范圍：

適用于碳素廠、焦化廠、石化廠、粉末冶金廠、高等院校、科研部門對材料之研究.

三.參照標準：

鋁用炭素材料檢測方法 第2部分 陰極炭塊和預焙陽極室溫電阻率的測定 GB/T6717、GB/T 24525-2009、YS/T63.2炭素材料電阻率測定方法.；ISO 11713-2000、YS/T63.2-2005和YS/T 64-1993標準方法測試陰極炭塊、預焙陽極、陽極糊陰極糊和炭素制品常溫下的電阻率。

炭素材料制品的電阻率值是評價炭制品電極質量，也是在炭制品加工中控制監(jiān)督工藝過程的重要參數(shù)。

測量電阻靈敏度達0.01μΩ. ，測試電流能達到10A

高頻介電常數(shù)測試儀

介電常數(shù)測量技術在民用，工業(yè)以及等各個領域應用廣泛。本文主要對介電常數(shù)測量的常用方法進

行了綜合論述。首先對標準進行了對比總結；然后分別論述了幾種常用測量方法的基本原理、適用范圍、

優(yōu)缺點及發(fā)展近況；后對幾種測量方法進行了對比總結，得出結論。

介電常數(shù)是物體的重要物理性質，對介電常數(shù)的研究有重要的理論和應用意義。電氣工程中的電介質問題、電磁兼容問題、生物、微波、電子技術食品加工和地質勘探中，無一不利用到物質的電磁特性，對介電常數(shù)的測量提出了要求。目前對介電常數(shù)測量方法的應用可以說是遍及民用、工業(yè)、國防的各個領域

在食品加工行業(yè)當中，儲藏、加工、滅菌、分級及質檢等方面都廣泛采用了介電常數(shù)的測量技術。例如，通過測量介電常數(shù)的大小，新鮮果蔬品質、含水率、發(fā)酵和干燥過程中的一些指標都得到間接體現(xiàn)，此外，根據(jù)食品的介電常數(shù)、含水率確定殺菌時間和功率密度等工藝參數(shù)也是重要的應用之一[1]。在路基壓實質量檢測和評價中，如果利用常規(guī)的方法，盡管測量結果比較準確，但工作量大、周期長、速度慢且對路面造成破壞。由于土體的含水量、溫度及密度都會對其介電特性產生不同程度的影響，因此可以采用雷達對整個區(qū)域進行測試以反算出介電常數(shù)的數(shù)值，通過分析介電性得到路基的密度及壓實度等參數(shù)，達到快速測量路基的密度及壓實度的目的[2]。此外，復介電常數(shù)測量技術還在水土污染的監(jiān)測中得到了應用[3]。并且還可通過對巖石介電常數(shù)的測量對地震進行預報[4]。上面說的是介電常數(shù)測量在民用方面的部分應用，其在工業(yè)上也有重要的應用。典型的例子有低介電常數(shù)材料在超大規(guī)模集成電路工藝中的應用以及高介電常數(shù)材料在半導體儲存器件中的應用。在集成電路工藝中，隨著晶體管密度的不斷增加和線寬的不斷減小，互聯(lián)中電容和電阻的寄生效應不斷增大，傳統(tǒng)的絕緣材料二氧化硅被低介電常數(shù)材料所代替是必然的。目前Applied Materials 的BlackDiamond 作為低介電常數(shù)材料，已經應用于集成電路的商業(yè)化生產[5]。在半導體儲存器件中，利用高介電常數(shù)材料能夠解決半導體器件尺寸縮小而導致的柵氧層厚度極限的問題，同時具備特殊的物理特性，可以實現(xiàn)具有特殊性能的新器件[6]。在方面，介電常數(shù)測量技術也廣泛應用于雷達和各種特

殊材料的制造與檢測當中。對介電常數(shù)測量技術的應用可以說是不勝枚舉。介電常數(shù)的測量技術已經廣泛應用于民用、工業(yè)和國防各個領域，并且有發(fā)展的空間和必要性。我們對測量介電常數(shù)的方法進行總結，能更清晰的認識測量方法的現(xiàn)狀，為某些應用提供一種可能適合的方法，是有一定理論和工程應用意義的。

.介電常數(shù)測量方法綜述介電常數(shù)的測量按材質分類可以分為對固體、液體、氣體以及粉末(顆粒)的測量[7]。固體電介質在測量時應用為廣泛，通?？梢苑譃閷潭ㄐ螤畲笮〉墓腆w和對形狀不確定的固體的測量。相對于固體，液體和氣體的測試方法較少。對于液體，可以采用波導反射法測量其介電常數(shù)，誤差在5%左右[8]。此外標準中給出了在90℃、工頻條件下測量液體損耗角正切及介電常數(shù)的方法[9]。對于氣體，具體測試方法少且精度都不十分高。文獻[10]中給出一種測量方法，以測量共振頻率為基礎，在LC 串聯(lián)諧振電路中產生震蕩，利用數(shù)字頻率計測量諧振頻率，不斷改變壓強和記錄當前壓強下諧振頻率，后用作圖或者一元線性回歸法處理數(shù)據(jù)，得到電容變化率進而計算出相對介電常數(shù)。

表1 是測量固體介電常數(shù)的標準方法(不包括廢止的方法)及其對頻率、介電常數(shù)范圍、材料等

情況的要求。如表1 所示，標準中已經對微擾法和開式腔法的過程做了詳細介紹，然而對適用頻率和介電常數(shù)的范圍都有所限制。所以在不同材料，不同頻率的情況下，標準也給出了相應的具體測量方法?？梢?，上面所分析的方法并不是可以隨便套用的。在不同的系統(tǒng)、測量不同的材料、所要求的頻率不同的情況下，需要對其具體問題具體分析，這樣才能得出準確的方法。標準測量方法覆蓋的頻率為50 MHz 以下和100 MHz 到30 GHz，可以說是一個較廣的頻率覆蓋范圍，但是不同范圍適用的材料和環(huán)境等都有所不同。介電常數(shù)的覆蓋范圍是2 到100，接近1 的介電常數(shù)和較高介電常數(shù)的測量方法比較稀缺，損耗普遍在10?3 到10?4 的數(shù)量級上。3. 測量介電常數(shù)的幾種主要方法從總體來說，目前測量介電常數(shù)的方法主要有集中電路法、傳輸線法、諧振法、自由空間波法等等。其中，傳輸線法、集中電路法、諧振法等屬于實驗室測量方法，測量通常是在實驗室中進行，要求具有相應的樣品采集技術。另外對于已知介電常數(shù)材料發(fā)泡后的介電常數(shù)通常用經驗公式得到[26]。下面，分別對這幾種方法的原理、特點和發(fā)展現(xiàn)狀等做分別闡述。3.1. 集中電路法集中電路法是一種在低頻段將有耗材料填充電容，利用電容各參數(shù)以及測量得到的導納推出介電常數(shù)的一種方法。其原理公式為：

其中， Y 為導納， A 為電容面積， d 為極板間距離，e0 為空氣介電常數(shù)，ω 為角頻率。為了測量導納，通常用并聯(lián)諧振回路測出Q 值(品質因數(shù))和頻率，進而推出介電常數(shù)。由于其高頻率會受到小電感的限制，這種方法的高頻率一般是100 MHz。小電感一般為10 nHz 左右。如果電感過，高頻段雜散電容影響太大。如果頻率過高，則會形成駐波，改變諧振頻率同時輻射損耗驟然增加。但這種方法并不適用于低損材料。因為這種方法能測得的Q 值只有200 左右，使用網(wǎng)絡分析儀測得tand 也只在10?4 左右。這種方法不但準確度不高，而且只能測量較低頻率，在現(xiàn)有通信應用要求下已不應用。

[GB/T 1693-2007]硫化橡膠介電常數(shù)和介質損耗角工頻、高頻適用于硫化橡膠

正切值的測定方法

[GB/T 5597-1999]固體電介質微波復介電常數(shù)的測

2~18 試方法 GHz 2~20 0.0001~0.005

[GB 7265.1-87]固體電介質微波復介電常數(shù)的測試方2~18 GHz 2~20 0.0001~0.005 微擾法

法——微擾法

[GB 7265.2-87]固體電介質微波復介電常數(shù)的測試方法——“開式腔"法 3~30 GHz 5~100 0.0002~0.006 開式腔法

[GB 11297.11-89]熱釋電材料介電常數(shù)的測試方法1 kHz ± 5% 適用于熱釋電材料

[GB 11310-89]壓電陶瓷材料性能測試方法相對自由介電常數(shù)溫度特性的測試 1 kHz 適用于壓電陶瓷材料

[GB/T 12636-90]微波介質基片復介電常數(shù)帶狀線測1~20 GHz 2~25 0.0005~0.01 試方法

[QJ 1990.3-90]電絕緣粘合劑電性能測試方法工頻、工頻、高頻適用于電絕緣粘合劑

高頻下介質損耗角正切及相對介電常數(shù)的測量(1 MHz 以下)

[SJ 20512-1995]微波大損耗固體材料復介電常數(shù)和

2~40 GHz 2~100<1.2 適用于微波大損耗固體材料

復磁導率測試方法

[SJ/T 1147-93]電容器用有機薄膜介質損耗角正切值工頻、1 kHz、1 適用于電容器用有機薄膜

和介電常數(shù)試驗方法MHz

[SJ/T 10142-91]電介質材料微波復介電常數(shù)測試方4~12 GHz 4~80 0.1~1 適用于電介質材料、同軸線終端開路